11:45 〜 12:00 [20a-C101-10] ミニマルファブを用いたSiO2イオン感応膜pH-ISFETの作製 〇影山 智明1,3、古賀 和博2、クンプアン ソマワン3,2、原 史朗3,2、李 相錫1 (1.鳥取大、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)