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[19a-C302-5] GaNホモエピ膜のTR-PL信号における遅い時定数成分に対する数値解析
キーワード:GaN、時間分解フォトルミネッセンス、深い準位
GaNホモエピ膜はパワーデバイスのドリフト層としての利用が期待されており、その品質評価は重要である。我々は時間分解フォトルミネッセンス(TR-PL)法とマイクロ波光導電減衰法によりn型GaNホモエピ膜を評価してきている。本発表においてはTR-PL信号での遅い時定数成分に対して、深い準位の捕獲・放出の速度方程式を用いた数値解析結果を報告する。