16:45 〜 17:00
節原 裕一1、〇竹中 弘祐1、平山 裕之1、遠藤 雅1、内田 儀一郎2、江部 明憲3 (1.阪大接合研、2.名城大理工、3.イー・エム・ディー)
竹中 弘祐
発表者・著者、共著者
2019年9月18日(水) 13:45 〜 17:15 C309 (C309)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2019年9月20日(金) 09:30 〜 11:30 PA4 (第一体育館)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
09:30 〜 11:30
〇竹中 弘祐1、節原 裕一1 (1.阪大接合研)