14:30 〜 14:45 [19p-E304-4] ミニマルファブにおける0.5μmデザインルール実現に向けたレジストパター二ングの予備検討 〇佐藤 和重1,3、古賀 和博1、野田 周一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱)