[19a-E304-1~12] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[19a-E304-5] Characterization of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters Under Non-Gaussian Random Oscillation

〇Shuichi Murakami¹, Takeshi Yoshimura², Yusuke Kanaoka¹, Kazuki Tsuda¹, Akira Hosoyama¹, Shogo Horiguchi¹, Kazuo Satoh¹, Kensuke Kanda³, Norifumi Fujimura² (1.ORIST, 2.Osaka Pref. Univ., 3.Univ. of Hyogo)

Keywords:Vibration energy harvester, Piezoelectric MEMS, Random vibration

我々は圧電MEMS振動発電素子に着目し研究開発を行っており、今までに正弦波振動やガウス型ランダム振動を用いて特性評価を行っている。今回、より実環境に近いとされる非ガウス型ランダム振動を用いて特性評価を行ったので報告する。