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△ [19a-E304-8] 顕微ラマン分光法による薄膜メカニカル振動子の応力分布計測手法の構築
キーワード：NEMS、応力、顕微ラマン分光法
NEMSの構成要素である薄膜メカニカル振動子には振動や作製に伴い応力が生じる．応力計測手法には顕微ラマン分光法があるが，その薄膜への適用性は十分に明らかにされていない．本研究では，内部に応力分布のある薄膜にラマン分光法を適用することで得られるスペクトルの形成機構をモデル化し，そのモデルによって薄膜内部の応力分布を計測する手法を提案した．