[19p-PA6-1~28] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[19p-PA6-10] トレンチ型ハイブリッドプラズモニック導波路の伝搬特性評価

〇岡本 浩行¹、鎌田 隼²、原口 雅宣²、岡本 敏弘² (1.阿南高専、2.徳島大院)

キーワード：ハイブリッドプラズモニック導波路

光デバイスとプラズモニックデバイスを組み合わせたハイブリッド集積回路に用いられるトレンチ型ハイブリッドプラズモニック導波路の設計を行い，その伝搬特性の評価を行った．波長1300 nmにおける光導波路とプラズモニック導波路の実効屈折率を求め，損失を低減するために最適なハイブリッド導波路構造となるよう設計した．