[21a-B31-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21a-B31-8] In₂O₃のハライド気相成長におけるIn原料分子種の影響

〇長井 研太¹、田中 那実¹、税本 雄也¹、富樫 理恵²、竹川 直¹、後藤 健¹、熊谷 義直^1,3 (1.東京農工大、2.上智大理工、3.東京農工大IGIR)

キーワード：酸化インジウム、ハライド気相成長法、熱力学解析