[11p-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11p-W641-14] エッチングレート面内分布に対する誘導結合型小径アンテナ形状の影響

〇杉本 雄太¹、山華 雅司¹、岡本 芳枝²、吉森 大晃²、東野 秀史² (1.東芝、2.芝浦メカトロニクス)

キーワード：プラズマ、アンテナ

異なる膜種や被覆率で面内均一性の良いドライエッチング処理が可能となる二重アンテナの開発に際し，インナーアンテナによるER面内分布の歪み，中心ずれが課題であった。インナーアンテナは小径であり，その構造非対称性の影響がER面内分布に大きく出ると考えた。そこで，この問題を解決するアンテナ形状を計算，シミュレーションにより予測し作製，二重アンテナとしてのER面内分布制御能力を評価した。