[12a-PB1-1~9] 8.1 Plasma production and diagnostics

[12a-PB1-9] Measurement of Tetramethylsilane Plasma Properties for Si-containing DLC Coating -Gas-Flow Rate Dependence of Fundamental Plasma Properties-

〇Yuuya Ohno¹, Masayuki Nagai¹, Shun Suzuki¹, Akinori Oda¹, Takayuki Ohta², Hiroyuki Kousaka³ (1.Chiba Tech, 2.Meijo Univ., 3.Gifu Univ.)

Keywords:Quadrupole mass spectrometry, Langmuir probe, Tetramethylsilane

Si含有DLC膜は各種DLC膜の中でも低い摩擦係数を示し，低摩擦性が要求される自動車部品として期待されている．この時Si含有DLC成膜にTMSガスが用いられているが，TMSプラズマ中の反応過程について未解明なものが多く，特に解離過程については明らかになっていない．本研究ではAr/TMSガスを用いて，容量結合型RFプラズマを生成し本プラズマ中の特性について診断を行ったので，その結果について報告する．