09:00 〜 09:15
〇影島 博之1、矢島 雄司1、白石 賢二2、遠藤 哲郎3 (1.島根大、2.名古屋大、3.東北大)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術
2020年3月15日(日) 09:00 〜 12:30 A305 (6-305)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
09:00 〜 09:15
〇影島 博之1、矢島 雄司1、白石 賢二2、遠藤 哲郎3 (1.島根大、2.名古屋大、3.東北大)
09:15 〜 09:30
〇堅田 卓弥1、角田 将紀1、呉 研1、高橋 芳浩1 (1.日大理工)
09:30 〜 09:45
〇安田 光保1、呉 研1、高橋 芳浩1 (1.日大理工)
09:45 〜 10:00
〇萩原 崇之1、阿部 綾香1、亀田 直人1、三浦 敏徳1、森川 良樹1、花倉 満1、中村 健2、野中 秀彦2 (1.明電舎、2.産総研)
10:00 〜 10:15
〇HuaHsuan Chen1、Beibei Ge1、Daisuke Ohori1、Tomohiro Kubota2、Dai Ishikawa2、Seiji Samukawa3 (1.IFS, Tohoku Univ.、2.ASM Japan K.K.、3.AIMR, Tohoku Univ.)
10:15 〜 10:30
〇Xiaoxuan Zhang1、Kasidit Toprasertpong1、Shinichi Takagi1、Mitsuru Takenaka1 (1.Univ. Tokyo)
10:45 〜 11:00
〇田村 敦史1、喜多 浩之1 (1.東大院工)
11:00 〜 11:15
〇濱口 高志1、喜多 浩之1 (1.東大院工)
11:15 〜 11:30
〇浅沼 周太郎1、住田 杏子1、宮口 有典2、堀田 和正2、神保 武人2、齋藤 一也2、宮田 典幸1 (1.産総研、2.アルバック)
11:30 〜 11:45
〇Mengnan Ke1、Mitsuru Takenaka1、Shinichi Takagi1 (1.Univ. Tokyo)
11:45 〜 12:00
〇Mengnan Ke1、Mitsuru Takenaka1、Shinichi Takagi1 (1.Univ. Tokyo)
12:00 〜 12:15
〇Mengnan Ke1、Mitsuru Takenaka1、Shinichi Takagi1 (1.Univ. Tokyo)
12:15 〜 12:30
〇堀口 遥1、上野 智雄1、岩崎 好孝1、飯野 寛貴1 (1.農工大院工)
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