一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2021年9月12日(日) 13:00 〜 16:15 N323 (口頭)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
13:00 〜 13:15
〇野田 周一1、田中 宏幸1、加瀬 雅1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.誠南工業)
スケジュール
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13:15 〜 13:30
〇三浦 典子1、田中 宏幸2、野田 周一2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
スケジュール
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13:30 〜 13:45
〇加瀬 雅1、クンプアン ソマワン1,2、原 史郎1,2 (1.産総研、2.ミニマル)
スケジュール
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13:45 〜 14:00
〇居村 史人1、釜崎 佳代2、井関 伸至2、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.産総研、2.熊本防錆工業、3.ミニマルファブ)
スケジュール
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14:15 〜 14:30
〇渡辺 幸志1、根本 一正1、居村 史人1、三浦 典子2、谷島 孝1、野田 周一1、梅澤 仁1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
スケジュール
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14:30 〜 14:45
〇田中 宏幸1、扇子 義久2,3、門井 幹夫2,3、太田 陽介2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.リソテックジャパン)
スケジュール
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14:45 〜 15:00
〇中道 修平1、加瀬 雅2、佐藤 和重1、田中 宏幸2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
スケジュール
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15:00 〜 15:15
〇居村 史人1、村嶋 義秀2、松田 誠宙2、土屋 忠明2、善養寺 薫3、大江 隆3、小坂 光二3、新堀 俊一郎4、早川 透1、クンプアン ソマワン1,5、原 史朗1,5 (1.産総研、2.ロジックリサーチ、3.TCK、4.三友製作所、5.ミニマルファブ)
スケジュール
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15:30 〜 15:45
〇小粥 敬成1、田中 宏幸2、居村 史人2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)
スケジュール
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15:45 〜 16:00
〇谷島 孝1、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、池田 伸一1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
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16:00 〜 16:15
〇根本 一正1、谷島 孝1、三浦 典子2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
スケジュール
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