[11p-S301-1~7] 未来デバイス製造のためのアトミックレイヤープロセス；表面反応ダイナミクスの理解と制御

[11p-S301-6] Atomic Layer Etchingの現状と今後の展望

〇深沢 正永¹ (1.ｿﾆｰｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ)

キーワード：エッチング、プラズマ、アトミックレーヤーエッチング