[12p-N323-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[12p-N323-8] ミニマルデバイステスタ装置の開発

〇居村 史人¹、村嶋 義秀²、松田 誠宙²、土屋 忠明²、善養寺 薫³、大江 隆³、小坂 光二³、新堀 俊一郎⁴、早川 透¹、クンプアン ソマワン^1,5、原 史朗^1,5 (1.産総研、2.ロジックリサーチ、3.TCK、4.三友製作所、5.ミニマルファブ)

キーワード：ミニマルファブ、電気計測

ウェハステージ、プローブ針駆動用マニピュレータ、微小電流測定器、カメラなどをミニマル装置内に搭載し、ハーフインチウェハ対応デバイス電気計測システムのミニマル装置を開発した。電極パッド表面の酸化抑制のために窒素雰囲気下で、CADで指定した電極パッドに自動プロービングし電気計測できる。今回、ウェハ全面に形成したpMOSFETのIV測定を行い、プロービング安定性、測定時間などを評価したので報告する。