2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-N101-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

2021年9月13日(月) 13:00 〜 18:00 N101 (口頭)

井村 将隆(物材機構)、谷川 智之(阪大)、市川 修平(阪大)

15:45 〜 16:00

[13p-N101-11] 極小ピットの多層構造化による超低転位AlNテンプレートの作製

日高 遼太1、奥野 椋1、小脇 岳土1、姚 永昭2、石川 由加里2、菅原 義弘2、横江 大作2、平山 秀樹3、倉井 聡1、岡田 成仁1、山田 陽一1、只友 一行1 (1.山口大学大学院創成科学研究科、2.ファインセラミックスセンター、3.理化学研究所)

キーワード:結晶成長、窒化アルミニウム、有機金属化合物気相成長