[19p-Z24-1~10] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[19p-Z24-5] Study of Piezo-resistive Accelerometer using Full Minimal Fab

〇Hiroshige Kogayu¹, Hiroyuki Tanaka^1,2, Fumito Imura^1,2, Sommawan Khumpuang^1,2, Shiro Hara^1,2 (1.MINIMAL, 2.AIST)

Keywords:MINIMAL, MEMS, Sensor

MEMSの多品種少量性は我々が開発してきたミニマルファブに適していることから、装置の開発と共にデバイスの開発も進めてきた。主要プロセスである深掘り技術とドーピング技術を用い、代表的なMEMSデバイスの一つであるピエゾ抵抗型一次元加速度センサを試作し、構造に関して意図したとおりのものができた。カンチレバーの動作確認を行ない、評価結果の詳細について報告する。