[19p-Z24-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19p-Z24-5] ミニマルファブを用いたピエゾ抵抗型加速度センサの開発

〇小粥 敬成¹、田中 宏幸^1,2、居村 史人^1,2、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)

キーワード：ミニマル、MEMS、センサ

MEMSの多品種少量性は我々が開発してきたミニマルファブに適していることから、装置の開発と共にデバイスの開発も進めてきた。主要プロセスである深掘り技術とドーピング技術を用い、代表的なMEMSデバイスの一つであるピエゾ抵抗型一次元加速度センサを試作し、構造に関して意図したとおりのものができた。カンチレバーの動作確認を行ない、評価結果の詳細について報告する。