シンポジウム(口頭講演)

[21p-B104-1~8] グリーン化に挑戦する半導体製造・プロセス技術

2022年9月21日(水) 13:30 〜 17:30 B104 (B104)

若林整(東工大)、内田紀行(産総研)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

13:30 〜 13:40

[21p-B104-1] 半導体産業におけるグリーン化戦略の重要性について述べる。

〇益一哉¹ (1.東工大)

13:40 〜 14:10

〇市村公二¹、栗原正彰¹ (1.大日本印刷株式会社)

14:10 〜 14:40

〇堀勝¹、関根誠¹、石川健治¹ (1.名大低温プラズマ)

14:40 〜 15:10

〇渋川潤¹ (1.㈱SCREENｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｰｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ)

15:15 〜 15:45

〇石田真彦^1,2 (1.NEC SSPF研、2.AIST NEC-産総研量子連携ラボ)

15:45 〜 16:15

〇井上史大¹ (1.横浜国大)

16:15 〜 16:45

〇若林整¹ (1.東工大)

16:45 〜 17:30

〇金山敏彦¹、市村公二²、渋川潤³、瀬川澄江⁴、石田真彦⁵、若林整⁶、堀勝⁷、井上史大⁸ (1.産総研、2.大日本印刷、3.SCREEN、4.東京エレクトロン、5.日本電気、6.東工大、7.名大、8.横国大)