[22p-A406-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[22p-A406-7] 二周波容量結合型Ar/C₄F₈/O₂プラズマのパルス運転がイオン組成に及ぼす影響

〇関 悠斗¹、加藤 閣人¹、久保井 宗一¹、鈴木 陽香^1,2、豊田 浩孝^1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)

キーワード：二周波容量結合型プラズマ、フロロカーボン、パルスプラズマ