[22p-A406-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[22p-A406-8] [講演奨励賞受賞記念講演] 二周波重畳容量結合型プラズマからRF電極へ入射する高速粒子入射角度分布の
イメージング計測

〇市川 景太¹、鈴木 陽香¹、飯野 大輝²、福水 裕之²、栗原 一彰²、豊田 浩孝^1,3 (1.名古屋大工、2.キオクシア、3.核融合研)

キーワード：角度分布関数、二周波重畳容量結合型プラズマ、半導体

近年、半導体デバイスの高集積化が進んでおり、二周波重畳容量結合型プラズマを用いた高アスペクト比プロセスの重要性が増している。本研究では電極にオリフィスを設け、これを通過した粒子拡がりをマイクロチャネルプレートによりイメージング計測することで粒子の入射角度分布を測定した。その結果、熱運動に起因すると思われるGauss分布の形状をした成分とエネルギー分布に起因すると思われる成分が観測された。