11:15 〜 11:30
[15a-B410-9] ミニマルイオン注入装置の開発 (IV)
キーワード:ミニマルファブ、イオン注入
我々はミニマルファブの開発の一環として、イオン注入装置の開発も行っている。既に、リン注入装置では、デバイスプロセスに適用可能な注入特性を得ている。本研究では、未報告のボロン注入装置について、そのプロセス性能を報告する。
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
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キーワード:ミニマルファブ、イオン注入