[J113p] トライボロジーの基礎・応用と表面設計［ポスター］

[J113p-21] ホローカソード放電のインパルス駆動による細穴内面DLC成膜

〇川口 寧々¹、上坂 裕之¹、近藤 博基² (1. 岐阜大学、2. 名古屋大学)

キーワード：DLC、プラズマ、内面成膜