[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-11] Strength control of Silicon MEMS using electron beam induced Silicon nanodots

〇Singh Abbhiraj¹、上町 真梧¹、生津 資大¹ (1. 京都先端科学大学)

キーワード：Silicon Nanodots、Nanowire and Microcantilever、Transmission electron Microscopy