[A05-4pm] 05. 物理化学―反応

[A05-4pm-03] 気相精密大量合成とソフトランディング法による超原子ナノクラスター集積膜の作製とその電気特性評価

^○横山 高穂¹、千葉 竜弥¹、平田 直之¹、渋田 昌弘¹、中嶋 敦¹ (1. 慶應義塾大学)

［言語］日本語

キーワード：超原子、ナノクラスター、ソフトランディング、スパッタリング、シリコン