[EI2] 電子ペーパー (2)

[EI2-02] 液晶性有機半導体Ph-BTBT-10のモノレイヤー結晶構造によるコンタクト抵抗低減化

*油田 海維¹、半那 純一¹、飯野 裕明¹ (1. 東京工業大学)

本研究では液晶性有機半導体Ph-BTBT-10の多結晶薄膜のコンタクト特性について検討した。Ph-BTBT-10の多結晶薄膜は熱アニールの有無によって、結晶構造が異なるモノレイヤー結晶薄膜とバイレイヤー結晶薄膜になる。この2種類の結晶薄膜をTLMや4端子法によるコンタクト特性を評価し、モノレイヤー結晶薄膜のコンタクト抵抗が小さいこと、断面SEMによりその要因を検討したところ電極と半導体の界面の違いによることが明らかになった。さらにコンタクト特性の良いモノレイヤー結晶薄膜を活用するため、モノレイヤー結晶薄膜に電極を蒸着した後に熱アニールすることで高移動度を示しながらコンタクト抵抗の低減化が実現した。