[18p-E10-1~20] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18p-E10-10] スパッタ法で成膜したナノ結晶酸化物半導体への電子線照射効果の調査(2)

^○大力浩二，太田将志，高橋正弘，廣橋拓也，山﨑舜平 (半エネ研)

キーワード：酸化物半導体,ナノ結晶,極微電子線回折