15:30 〜 15:45
[18p-E10-10] スパッタ法で成膜したナノ結晶酸化物半導体への電子線照射効果の調査(2)
キーワード:酸化物半導体,ナノ結晶,極微電子線回折
一般セッション(口頭講演)
合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス
2014年3月18日(火) 13:15 〜 18:30 E10 (E204)
15:30 〜 15:45
キーワード:酸化物半導体,ナノ結晶,極微電子線回折