シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム » シリコン結晶における不純物制御の科学 ～ゲッタリングが描くウェーハの未来像～
2017年9月5日(火) 13:30 〜 17:45 A204 (204)
小野 敏昭(SUMCO)、仮屋崎 弘昭(ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙｳｪｰﾊｽﾞ･ｼﾞｬﾊﾟﾝ)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
13:30 〜 14:00
〇小此木 堅祐1 (1.マイクロン)
スケジュール
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14:00 〜 14:30
〇宝来 正隆1 (1.株式会社SUMCO)
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14:45 〜 15:00
〇須藤 治生1、青木 竜彦1、前田 進1、岡村 秀幸1、中村 浩三3、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)
スケジュール
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15:00 〜 15:15
〇岡村 秀幸1、須藤 治生1、中村 浩三3、前田 進1、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)
スケジュール
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15:15 〜 15:45
〇末岡 浩治1 (1.岡山県大情報工)
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15:45 〜 16:00
〇白井 光雲1、藤村 卓巧1 (1.阪大産研)
スケジュール
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16:15 〜 16:45
〇大野 裕1 (1.東北大金研)
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16:45 〜 17:15
〇栗田 一成1 (1.株式会社SUMCO)
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17:15 〜 17:45
〇佐藤 信彦1 (1.キヤノン(株))
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