09:15 〜 09:30
〇小又 祐介1、青木 孝1、佐々木 智一2、水野 智久1 (1.神奈川大理、2.東芝ナノアナリシス)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年9月6日(水) 09:15 〜 12:15 C21 (C21)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
09:15 〜 09:30
〇小又 祐介1、青木 孝1、佐々木 智一2、水野 智久1 (1.神奈川大理、2.東芝ナノアナリシス)
09:30 〜 09:45
〇中田 真史1、山本 将暉1、入江 翔1、小又 祐介1、青木 孝1、鮫島 俊之2、水野 智久1 (1.神奈川大理、2.東京農工大工)
09:45 〜 10:00
〇國枝 汰門1、渡部 亨1、マイ ホンミン1、羽深 等1 (1.横国大院工)
10:00 〜 10:15
〇渡部 亨1、マイ ホンミン1、羽深 等1 (1.横国大院工)
10:15 〜 10:30
〇佐川 達郎1、中村 昌幸1、小林 貴之1、立田 利明1、本山 慎一1 (1.サムコ㈱)
10:30 〜 10:45
〇須田 隆太郎1、小島 明1、白樫 淳一1、越田 信義1 (1.農工大・院・工)
10:45 〜 11:00
〇大参 宏昌1、平野 達也1、久保田 雄介2、白数 佳紀1、垣内 弘章1、安武 潔1 (1.阪大院工、2.東京エレクトロン(株))
11:00 〜 11:15
〇八木 麻実子1、白樫 淳一1 (1.東京農工大院工)
11:15 〜 11:30
〇(M2)城戸 光一1、安藤 大輔1、須藤 祐司1、小池 淳一1 (1.東北大工)
11:30 〜 11:45
〇渡部 善幸1、矢作 徹1、阿部 泰1、村山 裕紀1 (1.山形工技セ)
11:45 〜 12:00
〇(M2)佐藤 匡1、前田 真吾1、山西 陽子2 (1.芝浦工大、2.九大)
12:00 〜 12:15
柄﨑 克樹1、熊谷 慎也1、〇佐々木 実1 (1.豊田工大)
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