[19a-B32-1~2] 8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

2019年9月19日(木) 09:30 〜 10:30 B32 (B32)

平松美根男(名城大)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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09:30 〜 10:00

[19a-B32-1] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] プラズマ誘起欠陥の発生と修復～欠陥抑止半導体プラズマプロセスにむけ～

〇布村正太¹、坂田功¹、松原浩司¹ (1.産総研太陽光発電研究センター)

10:00 〜 10:30

[19a-B32-2] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演 ] LaAlSiO_xのlayer-by-layerエッチング

〇大村光広¹、古本一仁¹、松田和久¹、佐々木俊行¹、酒井伊都子¹、林久貴¹ (1.東芝メモリ)

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[19a-B32-1~2] 8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

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