シンポジウム(口頭講演)
[14p-D305-1~8] EUV・軟X線イメージングの描く未来
13:30 〜 14:00
〇菅 大暉1 (1.東京大学)
14:00 〜 14:30
〇高橋 栄治1 (1.理研)
14:30 〜 15:00
〇細野 英司1 (1.産総研)
15:00 〜 15:30
〇加藤 政博1,2 (1.広島大、2.分子研)
15:35 〜 16:05
〇武久 究1、 鈴木 智博1、 宮井 博基1、 楠瀬 治彦1 (1.レーザーテック(株))
16:05 〜 16:35
〇山崎 裕一1 (1.物材機構)
16:35 〜 17:05
〇寺西 信一1,2、 原田 哲男1、 渡邊 健夫1、 Zhou Quan3、 木村 雅俊3、 Bogaerts Jan3、 Wang Xinyang3 (1.兵庫県立大学LASTI、2.静岡大学電子工学研、3.Gpixel Inc.)
17:05 〜 17:20
〇豊田 光紀1,2、 桃野 幸文2、 角館 俊行2、 陳 軍1 (1.東京工芸大工、2.東北大多元研)