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[15a-B410-8] ミニマルファブでのP-SOGによるリン拡散の安定化
キーワード:ミニマルファブ、拡散
ミニマルファブでP-SOGを用いたP(リン)拡散プロセスはパターンの形状や粗密によってP-SOGをHFで除去する際にPがウェハ表面に残る場合があり安定していない。そこで、この残ったPを低温酸化(LTO)で除去しP拡散層間でのリークを抑制させた。しかし、低温酸化を施すとP拡散層表面も酸化してしまい拡散層の電流は減少する。希望の電流を得るには拡散条件、低温酸化条件の最適な組み合わせを見出す必要がある。