[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性［ポスター］

[J224p-19] サブミクロングラファイトの曲げ変形特性に及ぼす
表面改質層の影響

〇梶山 斉彦¹、松永 航¹、平方 寛之¹ (1. 京都大学)

キーワード：vdW積層材料、グラファイト、曲げ、表面改質層、層間すべり