MRM2023/IUMRS-ICA2023

セッション一覧

G. Process » [G-1] Advanced Plasma Processing in the New Era

Oral Session

[G1-O402] Oral 402

2023年12月14日(木) 14:00 〜 16:00 Session 13 (Room I)

Chair: Manabu Tanaka (Kyushu Univ.)

15:00 〜 15:15

*Andrea Jurov1, Aswathy Vasudevan1, Vasyl Shvalya1, Martin Košiček1,2, Janez Zavašnik1, Neelakandan M. Santhosh1, Aleksander Zidanšek2,3,4, Uroš Cvelbar1,2 (1. Department of Gaseous Electronics (F6), Jožef Stefan Institute (Slovenia), 2. International Postgraduate School Jožef Stefan (Slovenia), 3. Faculty of Natural Sciences and Mathematics, University of Maribor (Slovenia), 4. Department of Condensed Matter (F5), Jožef Stefan Institute (Slovenia))

15:15 〜 15:30

*Hiroshi Furuta1,2, Taichi Marui1, Rebekah Arias3, Yuto Sawada1, Ryuichi Shinsei1, Nobuyuki Kameoka1, Tomu Yamamoto1, Kenshin Sakata1, Ryosuke Ooe1, Hokuto Sakoda1, Nathan Chung3, Nezih Pala3, Chunlei Wang3 (1. School of Systems Eng., Kochi Univ. Tech. (Japan), 2. Res. Inst., Kochi Univ. Tech. (Japan), 3. Florida Int'l. Univ. (United States of America))

Oral Session

[G1-O403] Oral 403

2023年12月14日(木) 16:30 〜 18:30 Session 13 (Room I)

Chair: R. Mohan Sankaran (University of Illinois Urbana-Champaign)

Poster Session

[G1-P501] Poster 501

2023年12月15日(金) 10:00 〜 12:00 Poster (Annex)

*Hiroyuki Fukue1, Tatsuyuki Nakatani1, Tadayuki Okano2, Masahide Kuroiwa2, Shinsuke Kunitsugu3, Susumu Takabayashi4, Hiroki Oota5, Ken Yonezawa5,1 (1. Okayama Univ. of Sci. (Japan), 2. Tokyo Electronics Co., Ltd. (Japan), 3. Ind. Technol. Cent. Okayama Pref. (Japan), 4. National Inst. Technol., Ariake College (Japan), 5. Kenix Corporation (Japan))

Oral Session

[G1-O502] Oral 502

2023年12月15日(金) 14:00 〜 16:30 Session 13 (Room I)

Chair: Osamu Sakai (Univ. Shiga Pref.)

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