一般セッション(ポスター講演)

[12p-P9-1~5] 8.1 プラズマ生成・制御

2015年3月12日(木) 16:00 〜 18:00 P9 (総合体育館)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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16:00 〜 18:00

▲ [12p-P9-1] Plasma Production and Stability in Electron Cyclotron Resonance Source

〇(D)Camille Romero¹, Motoi Wada¹ (1.Doshisha University)

16:00 〜 18:00

[12p-P9-2] 絶縁管内での水中プラズマの発生機構

〇前原常弘¹、松友真哉²、田中彩果¹、向笠忍¹、川嶋文人¹ (1.愛媛大, 2.新居浜高専)

16:00 〜 18:00

[12p-P9-3] 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション

〇鈴木陽香¹、中野優¹、伊藤仁^2,³、関根誠^1,²、堀勝^1,²、豊田浩孝^1,² (1.名大工, 2.名大工プラズマナノ, 3.東京エレクトロン)

16:00 〜 18:00

[12p-P9-4] パルスマイクロ波プラズマを用いたインライン溶液処理装置における処理性能のDuty比依存性

〇伊藤美智子^1,³、高島成剛³、野村記生⁴、北川富則⁴、豊田浩孝^1,² (1.名大工, 2.名大プラズマナノ, 3.プラズマ技術産業応用センター, 4.三進製作所)

16:00 〜 18:00

△ [12p-P9-5] 水－アルコール混合溶液中ソリューションプラズマ反応場の解明：気/液界面への水素結合の影響

〇簾智仁¹、上野智永^1,⁴、齋藤永宏^1,^2,^3,⁴ (1.名大院工, 2.名大グリモ, 3.未来社会創造機構, 4.JST-CREST)

一般セッション(口頭講演)

[13p-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御

2015年3月13日(金) 16:30 〜 19:00 A28 (6A-203)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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16:30 〜 16:45

[13p-A28-1] 同軸ケーブル置換型ECRプラズマスパッタ装置

〇赤沢方省¹、小野俊郎² (1.NTT DIC, 2.弘前大理工)

16:45 〜 17:00

[13p-A28-2] Si製スロットアンテナを用いたマイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト除去プロセスの開発

〇伊藤卓也¹、石島達夫¹、田中康規¹、上杉喜彦¹、西山聖²、堀邊英夫² (1.金沢大, 2.大阪市大)

17:00 〜 17:15

[13p-A28-3] 電子サイクロトロン共鳴イオン源プラズマからの多種多様なイオンビーム電流向上のための電極改良

〇今井洋太¹、熊倉翔¹、西岡田卓也¹、長家知生¹、萩野尚吾¹、上田和輝¹、村松正幸²、佐藤文信¹、加藤裕史¹、北川敦志²、飯田敏行¹ (1.阪大院工, 2.放医研)

17:15 〜 17:30

[13p-A28-4] ECR多価イオン源プラズマの画像計測と共鳴現象との対応

〇西岡田卓也¹、今井洋太¹、熊倉翔¹、長家知生¹、上田和輝¹、萩野尚吾¹、佐藤文信¹、加藤裕史¹、飯田敏行¹ (1.阪大院工)

17:30 〜 17:45

[13p-A28-5] ECR多価イオン源の電子エネルギー分布関数の空間分布と磁力線との対応

〇熊倉翔¹、今井洋太¹、長家知生¹、西岡田卓也¹、上田和輝¹、萩野尚吾¹、佐藤文信¹、加藤裕史¹、飯田敏行¹ (1.阪大院工)

17:45 〜 18:00

[13p-A28-6] タンデム型ECRイオン源第１ステージプラズマへの蒸発源設置による影響とステージ間のビーム輸送

〇長家知生¹、今井洋太¹、熊倉翔¹、西岡田卓也¹、上田和輝¹、萩野尚吾¹、佐藤文信¹、加藤裕史¹、飯田敏行¹ (1.阪大院工)

18:00 〜 18:15

△ [13p-A28-7] 大面積マイクロ波プラズマの円筒キャビティ励起の最適化Ⅱ

〇(B)長谷川雄一¹、小川大輔¹、中村圭二¹、小林理²、菅井秀郎³ (1.中部大工, 2.アプライドマテリアルズ, 3.名産研)

18:15 〜 18:30

△ [13p-A28-8] メタマテリアル効果を用いたマイクロ波プラズマでの高調波生成の効率化(Ⅱ)

〇岩井亮憲¹、中村嘉浩¹、酒井道^1,² (1.京都大院工, 2.滋賀県立大工)

18:30 〜 18:45

[13p-A28-9] マイクロ波を用いた大気圧ラインプラズマの生成

〇宮田弘志¹、内田雅人²、山口健志¹、進藤春雄¹、桑畑周司¹、磯村雅夫¹ (1.東海大院工, 2.東海大工)

18:45 〜 19:00

[13p-A28-10] RFマグネトロンスパッタにおけるACカソードバイアス印加の効果

〇秋元隆宏¹、進藤春雄¹、磯村雅夫¹ (1.東海大院工)

一般セッション(口頭講演)

[14a-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御

2015年3月14日(土) 09:00 〜 11:45 A28 (6A-203)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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09:00 〜 09:15

[14a-A28-1] 狭ギャップ電極系用いた大気圧非平衡プラズマの生成と診断

〇中野俊樹¹、北嶋武¹ (1.防衛大学校)

09:15 〜 09:30

[14a-A28-2] 絶縁管内における純水中の高周波プラズマ

〇田中彩果¹、前原常弘¹ (1.愛媛大理工)

09:30 〜 09:45

△ [14a-A28-3] 液体と接する大気圧グロー放電によって誘起される液中反応プロセスの検討

〇二戸愛仁¹、白井直機¹、内田諭¹、杤久保文嘉¹ (1.首都大院理工)

09:45 〜 10:00

△ [14a-A28-4] 高圧気体・超臨界流体中における密度揺らぎのスケール依存性を考慮した放電モデルの構築

〇(DC)宗岡均^1,²、占部継一郎^1,²、シュタウススヴェン¹、寺嶋和夫¹ (1.東大院新領域, 2.学振特別研究員)

10:00 〜 10:15

[14a-A28-5] 3次元PIC/MC法による矩形マグネトロンスパッタカソードのエロージョン形状の解析

〇矢部裕¹、小寺恭介¹、吉田武史¹、久保信一¹、高橋理¹、南部健一² (1.昭和真空, 2.東北大流体研)

休憩（10:15 〜 10:30）

10:30 〜 10:45

[14a-A28-6] 非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす水蒸気の影響

〇(M2)坂下准哉¹、小田昭紀¹ (1.千葉工大)

10:45 〜 11:00

△ [14a-A28-7] 二重接地DBDプラズマアクチュエータの作動メカニズムに関する数値解析

〇(B)中野朝¹、西田浩之¹、白石朋巳¹ (1.農工大)

11:00 〜 11:15

[14a-A28-8] PIC/MCC法によるマイクロECRプラズマスラスタの数値解析

〇(M1)上野佳祐¹、森大輔¹、鷹尾祥典¹、江利口浩二¹、斧高一¹ (1.京大院工)

11:15 〜 11:30

△ [14a-A28-9] 針対平板電極における高気圧非平衡Neプラズマのシミュレーション

〇元島一樹¹、白井直機¹、内田諭¹、杤久保文嘉¹ (1.首都大院理工)

11:30 〜 11:45

[14a-A28-10] プラズマプロセス中の基板温度制御のための熱流束モデルの解析

〇(DC)堤隆嘉¹、福永祐介¹、石川健治¹、竹田圭吾¹、近藤博基¹、太田貴之²、伊藤昌文²、関根誠¹、堀勝¹ (1.名大院工, 2.名城大理工)

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[12p-P9-1~5] 8.1 プラズマ生成・制御

▲ [12p-P9-1] Plasma Production and Stability in Electron Cyclotron Resonance Source

[12p-P9-2] 絶縁管内での水中プラズマの発生機構

[12p-P9-3] 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション

[12p-P9-4] パルスマイクロ波プラズマを用いたインライン溶液処理装置における処理性能のDuty比依存性

△ [12p-P9-5] 水－アルコール混合溶液中ソリューションプラズマ反応場の解明：気/液界面への水素結合の影響

[13p-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御

[13p-A28-1] 同軸ケーブル置換型ECRプラズマスパッタ装置

[13p-A28-2] Si製スロットアンテナを用いたマイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト除去プロセスの開発

[13p-A28-3] 電子サイクロトロン共鳴イオン源プラズマからの多種多様なイオンビーム電流向上のための電極改良

[13p-A28-4] ECR多価イオン源プラズマの画像計測と共鳴現象との対応

[13p-A28-5] ECR多価イオン源の電子エネルギー分布関数の空間分布と磁力線との対応

[13p-A28-6] タンデム型ECRイオン源第１ステージプラズマへの蒸発源設置による影響とステージ間のビーム輸送

△ [13p-A28-7] 大面積マイクロ波プラズマの円筒キャビティ励起の最適化Ⅱ

△ [13p-A28-8] メタマテリアル効果を用いたマイクロ波プラズマでの高調波生成の効率化(Ⅱ)

[13p-A28-9] マイクロ波を用いた大気圧ラインプラズマの生成

[13p-A28-10] RFマグネトロンスパッタにおけるACカソードバイアス印加の効果

[14a-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御

[14a-A28-1] 狭ギャップ電極系用いた大気圧非平衡プラズマの生成と診断

[14a-A28-2] 絶縁管内における純水中の高周波プラズマ

△ [14a-A28-3] 液体と接する大気圧グロー放電によって誘起される液中反応プロセスの検討

△ [14a-A28-4] 高圧気体・超臨界流体中における密度揺らぎのスケール依存性を考慮した放電モデルの構築

[14a-A28-5] 3次元PIC/MC法による矩形マグネトロンスパッタカソードのエロージョン形状の解析

[14a-A28-6] 非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす水蒸気の影響

△ [14a-A28-7] 二重接地DBDプラズマアクチュエータの作動メカニズムに関する数値解析

[14a-A28-8] PIC/MCC法によるマイクロECRプラズマスラスタの数値解析

△ [14a-A28-9] 針対平板電極における高気圧非平衡Neプラズマのシミュレーション

[14a-A28-10] プラズマプロセス中の基板温度制御のための熱流束モデルの解析

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