13:30 〜 13:35
〇佐藤 威友1 (1.北大)
シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム(technical) » 窒化物半導体エッチング技術 〜高制御性と低損傷性を求めて〜
2019年9月20日(金) 13:30 〜 17:35 E301 (E301)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:30 〜 13:35
〇佐藤 威友1 (1.北大)
13:35 〜 14:05
〇佐野 泰久1、有馬 健太1、山内 和人1 (1.阪大院工)
14:05 〜 14:35
〇伊藤 昌平1、Agnieszka Kurek1、Mike Cooke1 (1.オックスフォードインストゥルメンツ)
14:35 〜 15:05
〇堀切 文正1、福原 昇1 (1.サイオクス)
15:05 〜 15:35
〇三島 友義1 (1.法政大)
15:50 〜 16:20
〇山田 真嗣1,2,3、櫻井 秀樹1,2,3、長田 大和3、中村 敏幸3、上村 隆一郎3、須田 淳1,2、加地 徹1 (1.名大未来研、2.名大院工、3.アルバック半電研)
16:20 〜 16:50
〇塩島 謙次1 (1.福井大院工)
16:50 〜 17:20
〇菅原 健太1、岡田 政也1、市川 弘之1、井上 和孝1、大堀 大介2、寒川 誠二2,3 (1.住友電工、2.東北大流体研、3.東北大AIMR)
17:20 〜 17:35
〇蔵口 雅彦1、彦坂 年輝1、新留 彩1、梶原 瑛祐1、加藤 大望1、大野 浩志1、向井 章1、布上 真也1 (1.東芝研究開発センター)
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