13:15 〜 13:30
〇山本 将輝1、青木 孝1、鮫島 俊之2、水野 智久1 (1.神奈川大理、2.東京農工大工)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2019年3月9日(土) 13:15 〜 15:45 M114 (H114)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
13:15 〜 13:30
〇山本 将輝1、青木 孝1、鮫島 俊之2、水野 智久1 (1.神奈川大理、2.東京農工大工)
13:30 〜 13:45
〇金澤 力斗1、青木 孝1、鮫島 俊之2、水野 智久1 (1.神奈川大学理、2.東京農工大工)
13:45 〜 14:00
上田 晃頌1、〇谷村 英昭1、河原崎 光1、山田 隆泰1、布施 和彦1、青山 敬幸1、加藤 慎一1、野崎 仁秀1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)
14:00 〜 14:15
〇谷村 英昭1、布施 和彦1、青山 敬幸1、加藤 慎一1、野崎 仁秀1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)
14:15 〜 14:30
〇平永 良臣1、長 康雄1 (1.東北大通研)
14:30 〜 14:45
〇宮崎 僚1、内海 大樹1、原 明人1 (1.東北学院大工)
14:45 〜 15:00
〇(B)河北 竜治1、平野 友貴1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先端研)
15:00 〜 15:15
〇(M2)近藤 史康1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先端研)
15:15 〜 15:30
〇渡邉 信太1、野田 俊彦2、澤田 和明2、秋山 正弘1 (1.長野工業高等専門学校、2.豊橋技術科学大学)
15:30 〜 15:45
〇小原田 賢聖1、横川 凌1,2、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.学振特別研究員 DC)
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