[1C09-12] 組織化膜の科学と技術

[1C10] フォトレジストの再付着防止に及ぼすプルロニック系界面活性剤の添加効果：炭酸アルキレンの組成依存性

*永井 泰史¹、大日向 秀収²、赤松 允顕¹、酒井 健一^1,3、酒井 秀樹^1,3 (1. 東理大理工 (日本)、2. 野村マイクロ・サイエンス（株） (日本)、3. 東理大総研 (日本))

キーワード：炭酸アルキレン、フォトレジスト、プルロニック系界面活性剤、水晶振動子マイクロバランス