一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
09:00 〜 09:15
〇唐橋 一浩1、李 虎1、山田 健太郎1、伊藤 智子1、沼沢 聡志2、町田 顕2、石川 清志2、浜口 智志1 (1.阪大院工 アトミックデザイン研究センター、2.（株）サムスン日本研究所)
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09:15 〜 09:30
〇(M1)黒田 源斗1、高橋 和生1、西尾 弘司1 (1.京都工繊大)
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09:30 〜 09:45
〇植山 稔正1、竹田 圭吾1、近藤 博基1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝2、岩田 学3、大矢 欣伸3 (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構、3.東京エレクトロン宮城)
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09:45 〜 10:00
〇武田 直己1、張 彦1、林 俊雄1、関根 誠1、竹田 圭吾1、近藤 博基1、石川 健治1、堀 勝2 (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構)
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10:00 〜 10:15
〇今村 真人1、劉 沢城1、潘 佳林1、谷出 敦3、石川 健治1、竹田 圭吾1、近藤 博基1、小田 修1、関根 誠1、堀 勝2 (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構、3.SCREENホールディングス)
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10:15 〜 10:30
〇吉川 憲一1、浅野 敦紀2、宮脇 雄大2、古本 一仁1、佐々木 俊行1、菊谷 圭介1、林 久貴1、関根 誠2、堀 勝2 (1.株式会社 東芝、2.名古屋大学)
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10:30 〜 10:45
〇李 虎1、唐橋 一浩1、深沢 正永2、長畑 和典2、辰巳 哲也2、浜口 智志1 (1.阪大院工、2.ソニー)
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10:45 〜 11:00
〇李 虎1、Friederich Pascal2、Fink Karin2、Wenzel Wolfgang2、唐橋 一浩1、深沢 正永3、長畑 和典3、辰巳 哲也3、浜口 智志1 (1.阪大院工、2.カールスルーエ工科大、3.ソニー)
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11:00 〜 11:15
〇野田 周一1、水林 亘2、菊池 亜紀応1、遠藤 和彦2、寒川 誠二1,2 (1.東北大、2.産総研ナノエレ)
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11:15 〜 11:30
〇菅野 量子1、礒部 倫郎2、浜口 智志2 (1.日立研開、2.阪大工)
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