2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッション情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[18a-C309-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2019年9月18日(水) 09:00 〜 12:00 C309 (C309)

占部 継一郎(京大)、堤 隆嘉(名大)

△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし

09:00 〜 09:15

野沢 善幸1、リャオ ブライアン1、藤井 竜介1、速水 利泰1、大堀 大介2、野田 周一3、門井 幹夫4、石田 昌久5、田中 麻美5、曽田 匡洋5、遠藤 和彦3、寒川 誠二2 (1.SPPテクノロジーズ、2.東北大流体研、3.産総研、4.リソテックジャパン、5.長瀬産業)

09:15 〜 09:30

門井 幹夫1、石田 昌久2、田中 麻美2、曽田 匡洋2、大堀 大介3、野田 周一4、野沢 善幸5、リャオ ブライアン5、藤井 竜介5、速水 利泰5、遠藤 和彦4、寒川 誠二3 (1.リソテックジャパン、2.長瀬産業、3.東北大流体研、4.産総研、5.SPPテクノロジーズ)

10:00 〜 10:30

平田 瑛子1、深沢 正永1、長畑 和典2、李 虎3、唐橋 一浩4、浜口 智志4、辰巳 哲也1 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ、2.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング、3.東京エレクトロン、4.大阪大学)

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