2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

セッション情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム(technical) » 窒化物半導体エッチング技術 〜高制御性と低損傷性を求めて〜

[20p-E301-1~9] 窒化物半導体エッチング技術 〜高制御性と低損傷性を求めて〜

2019年9月20日(金) 13:30 〜 17:35 E301 (E301)

加藤 正史(名工大)、佐藤 威友(北大)

△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
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