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[15a-B410-3] ミニマルファブ SOI CMOSにおけるオーバーラップ長縮小の検討
キーワード:SOI、MOSFET
ミニマルファブは多品種少量生産をターゲットとした生産システムである。このミニマルファブでのデバイス適応実績としては、カンチレバーに代表されるMEMSデバイス、CMOSおよびそれを用いたRing Oscillatorとオペアンプなどが試作されてきた。1,000Gateレベルの集積回路の動作検証は既に終了し、試作ファブとして実用化されている。今後は、PDK(Process Design Kit)を作成し、広範なユーザー設計に基づいた回路動作に対応すべく、MOSFETの動作精度向上、プロセスロバスト性確保に注力する段階となっている。今回、MOSFETのサイズ縮小の一環として、オーバーラップ長縮小の検討を行った結果を報告する。