09:00 〜 09:15
〇柳 永シュン1、秋田 一平1、松川 貴1、田中 宏幸1,2、古賀 和博2、根本 一正1、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、森田 行則1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
09:00 〜 09:15
〇柳 永シュン1、秋田 一平1、松川 貴1、田中 宏幸1,2、古賀 和博2、根本 一正1、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、森田 行則1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
09:15 〜 09:30
大谷 真奈1、〇羽深 等1、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院工、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)
09:30 〜 09:45
〇居村 史人1,2、井上 道弘1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
09:45 〜 10:00
〇佐藤 和重1,4、高橋 俊次3、田 昭治3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.片桐エンジニアリング、4.坂口電熱)
10:00 〜 10:15
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、Khumpuang Sommawan1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)
10:15 〜 10:30
〇古賀 和博1、加瀬 雅2、佐藤 和重1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)
10:45 〜 11:00
〇根本 一正1、谷島 孝1、田中 宏幸1、野田 周一1、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
11:00 〜 11:15
〇藤井 知1、遠江 栄希2、柴 育成2、Dario Manelli3、徳田 基3、大江 隆3、小坂 光二3、原 史朗4 (1.沖縄高専、2.横河SS、3.TCK、4.産総研)
11:15 〜 11:30
〇野田 周一1、古賀 和博2、居村 史人1、根本 一正1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.誠南工業(株))
11:30 〜 11:45
〇三浦 典子1、橋本 直樹1,2、北村 是尊1,2、居村 史人1,3、佐藤 和重1、古賀 和博1、石田 夕起1,3、大平 俊行1,3、クンプアン ソマワン1,3、原 史朗1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.フジインバック、3.産総研)
11:45 〜 12:00
〇谷島 孝1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
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