一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2021年3月17日(水) 09:00 〜 11:45 Z03 (Z03)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
09:00 〜 09:15
〇久山 智弘1,2、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.学振特別研究員DC)
スケジュール
いいね！
)
09:15 〜 09:30
〇濱野 誉1,2、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.学振特別研究員DC)
スケジュール
いいね！
)
09:30 〜 09:45
〇布村 正太1、坂田 功1、堤 隆嘉2、堀 勝2 (1.産総研、2.名大)
スケジュール
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)
09:45 〜 10:00
〇菅野 量子1、石井 洋平2、三浦 真3、桑原 謙一3 (1.日立研開、2.日立ハイテクアメリカ、3.日立ハイテク)
スケジュール
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10:00 〜 10:15
〇(M1)吉江 泰斗1、三好 康史2、堤 隆嘉1、釘宮 克尚2、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大、2.ソニーセミコンダクタソリューションズ)
スケジュール
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)
10:15 〜 10:30
〇伊藤 智子1、唐橋 一浩1、浜口 智志1 (1.阪大院工)
スケジュール
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10:30 〜 10:45
〇(M2)Jomar Unico Tercero1,2、Akiko Hirata3、Michiro Isobe2、Masagana Fukasawa3、Magdaleno Vasquez, Jr.1、Satoshi Hamaguchi2 (1.UP Diliman、2.Osaka Univ.、3.Sony Semicon. Corp.)
スケジュール
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10:45 〜 11:00
〇(M2)Hojun Kang1、Tomoko Ito1、Junghwan Um2、Hikaru Kokura2、Taekyun Kang2、Sung-Il Cho2、Hyunjung Park2、Kazuhiro Karahashi1、Satoshi Hamaguchi1 (1.Osaka Univ.、2.Memory Etch Technology Team, Samsung Electronics)
スケジュール
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11:00 〜 11:15
〇平島 伊織1、桑畑 周司1 (1.東海大工)
スケジュール
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11:15 〜 11:45
〇中村 守孝1 (1.MAMO)
スケジュール
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