[F] 6. 固体表面・界面の科学と技術

[F-39] コロイダルリソグラフィによるポリスチレン薄膜への銀ナノ粒子パターニング

*曽根 義宏¹、伊村 芳郎²、王 可瑄²、河合 武司² (1. 東京理科大学工業化学専攻(日本)、2. 東京理科大学工業化学科(日本))

キーワード：コロイダルリソグラフィ、ポリスチレン薄膜、紫外線照射