一般セッション(口頭講演)

[19a-A12-1~8] 7.6 イオンビーム一般

2013年9月19日(木) 10:00 〜 12:00 A12 (TC1 3F-316)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
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10:00 〜 10:15

[19a-A12-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）イオンビーム照射成膜によるAlN薄膜の極性・配向制御および極性反転多層構造の形成

^○鈴木雅視，柳谷隆彦 (名工大)

10:15 〜 10:30

[19a-A12-2] イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成

^○（D）鈴木雅視，柳谷隆彦 (名工大)

10:30 〜 10:45

[19a-A12-3] Gaイオン照射した窒化シリコン薄膜へのGaN成長におけるイオン照射エネルギーの影響

^○アザマトオシュラフノフ¹，松井祐斗¹，柳沢淳一¹，佐藤一成²，山本喜之² (滋賀県立大工¹，住友電工²)

10:45 〜 11:00

[19a-A12-4] IBIECによる再結晶化後のアニールによるSi_1-xGe_x/Siの逆アニール現象

^○関根渉¹，山本康博¹，西村智朗² (法政大院理工¹，イオンビーム工研²)

11:00 〜 11:15

[19a-A12-5] 高速重イオン照射によるSiO₂中の金属ナノ粒子の楕円変形(2)

^○雨倉宏¹，大久保成彰²，石川法人² (物材機構¹，原研²)

11:15 〜 11:30

[19a-A12-6] ヘリウムビームを用いたTOF-ERDAのための窒素弾性反跳断面積の測定(2)

^○安田啓介¹，土田秀次²，間嶋拓也² (若狭湾エネ研¹，京大院工²)

11:30 〜 11:45

[19a-A12-7] 高速重イオンビームを用いた脂質の二次イオン質量分析

^○藤井麻樹子，草刈将一，瀬木利夫，青木学聡，松尾二郎 (京大院工)

11:45 〜 12:00

[19a-A12-8] ガスクラスターイオンビームによる有機デバイスの深さ方向SIMS分析

^○中川駿一郎¹，瀬木利夫^1,2，青木学聡^1,2，松尾二郎^1,2 (京大院工¹，JST-CREST²)

一般セッション(口頭講演)

[19p-A12-1~13] 7.6 イオンビーム一般

2013年9月19日(木) 13:30 〜 17:00 A12 (TC1 3F-316)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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昼食　（12:00 〜 13:30）

13:30 〜 13:45

[19p-A12-1] 三次元境界電荷法を用いたナノエミッタ先端の電界数値計算

^○（M1）林佑¹，鈴木優介¹，岩田達夫²，永井滋一^1,2，梶原和夫^1,2，畑浩一^1,2，伊藤慎太郎³，村田英一⁴ (三重大院工¹，三重大極限ナノエレセ²，名大院工³，名城大理工⁴)

13:45 〜 14:00

[19p-A12-2] 理想形状電界イオンエミッタ作製のための電界誘起酸素エッチング進行過程の解明

^○（M1）加藤習¹，浅井貴之¹，永井滋一^1,2，岩田達夫²，梶原和夫²，畑浩一^1,2，安坂幸師³，齋藤弥八³ (三重大院工¹，三重大極限ナノエレセ²，名大院工³)

14:00 〜 14:15

[19p-A12-3] イオン液体EMIM-N(CN)₂,EMIM-BF₄およびBMIM-PF₆イオンビームの特性評価

^○濱口拓也，竹内光明，龍頭啓充，高岡義寛 (京大光・電子理工セ)

14:15 〜 14:30

[19p-A12-4] 永久磁石を用いた多原子分子イオンのフラグメント抑制

^○林恭平，竹内光明，龍頭啓充，高岡義寛 (京大光・電子理工セ)

14:30 〜 14:45

[19p-A12-5] 透明材料表面へのナノ構造形成と導電性付与(Ⅱ)

^○土屋琢磨，岡部晋宜，Subramanian Munisamy，Golap Kalita，種村眞幸 (名工大院工)

14:45 〜 15:00

[19p-A12-6] 酸素モノマー・クラスターイオンビーム照射によるポリ乳酸基板の表面改質

^○（M2）辻中諒，竹内光明，龍頭啓充，高岡義寛 (京大光・電子理工学教育研究センター)

15:00 〜 15:15

[19p-A12-7] GCIB照射によるメディア上カーボン保護膜の表面平坦化効果とヘッド浮上特性の評価

^○木村旭¹，冨田淳²，豊田紀章¹，谷弘詞²，山田公¹ (兵庫県立大工¹，関西大理工²)

休憩　（15:15 〜 15:30）

15:30 〜 15:45

[19p-A12-8] マルチノズルを用いたClF₃中性クラスタービームによるSiエッチング

^○瀬木利夫¹，吉野裕²，妹尾武彦²，小池国彦²，青木学聡¹，松尾二郎¹ (京大院工¹，岩谷産業²)

15:45 〜 16:00

[19p-A12-9] 高空間分解能クラスターSIMS用プローブの形成

^○鳥居聡太，松尾二郎，瀬木利夫，青木学聡 (京大工)

16:00 〜 16:15

[19p-A12-10] アセトンクラスターイオンビームのSi表面への照射効果

^○角元友樹，龍頭啓充，竹内光明，高岡義寛 (京大光電子理工セ)

16:15 〜 16:30

[19p-A12-11] 水クラスターイオンビーム励起ルミネッセンス測定系の改良

^○坂田彬¹，Francesco Musumeci^1,2，龍頭啓充¹，竹内光明¹，高岡義寛¹ (京大光・電子理工セ¹，Dept. of Phys. and Astr., Catania Univ.²)

16:30 〜 16:45

[19p-A12-12] Arクラスターイオンの衝突解離に関する一考察

^○瀬直己，持地広造，乾徳夫，盛谷浩右 (兵庫県立大院工)

16:45 〜 17:00

[19p-A12-13] コア-シェル構造を持つクラスターの衝突シミュレーション

^○青木学聡，瀬木利夫，松尾二郎 (京大)

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