2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッション一覧

シンポジウム » シリコン結晶における不純物制御の科学 ~ゲッタリングが描くウェーハの未来像~

シンポジウム(口頭講演)

[5p-A204-1~9] シリコン結晶における不純物制御の科学 ~ゲッタリングが描くウェーハの未来像~

2017年9月5日(火) 13:30 〜 17:45 A204 (204)

小野 敏昭(SUMCO)、仮屋崎 弘昭(グローバルウェーハズ・ジャパン)

△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし

×

認証

パスワード認証
PDFの閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。

事前参加予約が完了した方にパスワードを配信しております。
当日参加受付をする方はお渡しするガイドブックに記載のパスワードをご使用ください。
応用物理学会会員の皆様には2018年3月にパスワードを配信します。

×

要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン