シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム（technical) » アトミックレイヤープロセスの最新動向
2019年9月20日(金) 13:30 〜 17:45 N304 (N304)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
13:30 〜 14:00
〇霜垣 幸浩1 (1.東大院工)
スケジュール
いいね！
)
14:00 〜 14:30
〇知京 豊裕1、木野 日織1 (1.物材研)
スケジュール
いいね！
)
14:30 〜 15:00
〇光成 正1,2、佐藤 寿樹1、鈴木 悠介1、菊地 貴倫1、加賀谷 宗仁1、森貞 佳紀1、米道 仁史3、茂木 弘典3、守屋 剛1 (1.東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ、2.名古屋大学低温プラズマ科学研究センター、3.東京エレクトロン)
スケジュール
いいね！
)
15:00 〜 15:30
鹿又 健作2、三浦 正範2、〇廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.山形大学有機システム)
スケジュール
いいね！
)
15:45 〜 16:15
〇唐橋 一浩1、伊藤 智子1、浜口 智志1 (1.阪大院工)
スケジュール
いいね！
)
16:15 〜 16:30
〇(M1)植松 功多1、豊田 紀章1 (1.兵庫県立大工)
スケジュール
いいね！
)
16:30 〜 16:45
〇長谷川 将希1、堤 隆嘉2、近藤 博基2、関根 誠2、石川 健治2、堀 勝2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ化学研究センター)
スケジュール
いいね！
)
16:45 〜 17:15
〇伊澤 勝1 (1.日立ハイテク)
スケジュール
いいね！
)
17:15 〜 17:30
〇中根 一也1、ルネイ ヘリンカス ヨセフ フェーフィート2,3、堤 隆嘉3、小林 伸好3、堀 勝3 (1.名大院工、2.日本エー・エス・エム、3.名大低温プラズマ科学研究センター)
スケジュール
いいね！
)
17:30 〜 17:45
〇平田 瑛子1、深沢 正永1、釘宮 克尚1、長岡 弘二郎1、唐橋 一浩2、浜口 智志2 (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ、2.阪大院工)
スケジュール
いいね！
)
要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン