09:00 〜 09:15
〇根本 一正1、田中 宏幸1、酒井 孝昭3,2、鍛冶倉 惇3,2、楊 振4,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.不二越機械工業、4.VIYIA)
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
09:00 〜 09:15
〇根本 一正1、田中 宏幸1、酒井 孝昭3,2、鍛冶倉 惇3,2、楊 振4,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.不二越機械工業、4.VIYIA)
09:15 〜 09:30
〇野田 周一1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.誠南工業)
09:30 〜 09:45
〇堀田 将也1、西里 洋1、遠江 栄希2、柴 育成2、前田 拓哉3、小渡 祐樹3、藤井 知3 (1.堀場エステック、2.横河ソリューションサービス、3.沖縄高専)
09:45 〜 10:00
〇田中 宏幸1、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)
10:00 〜 10:15
〇相澤 洸1、櫻井 匡1、石島 達夫1、田中 康規1、中野 裕介1、原 史朗2,3 (1.金沢大自然、2.ミニマルファブ、3.産総研)
10:30 〜 10:45
〇中道 修平1、田中 宏幸2、居村 史人2、野田 周一2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産業技術総合研究所)
10:45 〜 11:00
〇田中 宏幸1、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)
11:00 〜 11:15
本宮 淳弘1、大谷 真奈1、〇羽深 等1、池田 伸一2,3、石田 夕起2,3、原 史朗2,3 (1.横国大院理工、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)
11:15 〜 11:30
〇三浦 典子1、橋本 直樹2,1、北村 是尊2,1、居村 史人3、古賀 和博1、佐藤 和重1、石田 夕起3,1、クンプアン ソマワン3,1、原 史朗3,1 (1.ミニマルファブ推進機構、2.フジインバック、3.産総研)
11:30 〜 11:45
〇加瀬 雅1、古賀 和博2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
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