湿式素材プロセッシング（Hydrometallurgy）

[PY1-50] ナノチャンネル型テンプレートを利用したCo/Cu多層ナノワイヤー配列素子の電析

○上村 姫代¹、林田 将充¹、山本 将貴²、大貝 猛² (1. 長崎大学工学部、2. 長崎大学工学研究科物質科学部門)

キーワード：電析

非磁性層と強磁性層を10 nm レベルで交互に積層した金属多層ナノワイヤー配列素子は、従来の多層薄膜系材料に比べて、界面垂直通電型の巨大磁気抵抗効果(CPP-GMR)を示すことが知られている。現在、実用化されているHDD の磁気ヘッドには、多層薄膜形状のGMR 素子が用いられているが、GMR 素子を電析法により多層ナノワイヤー形状として作製できれば、極めて狭い範囲の漏れ磁場に対する高感度な磁気信号の検知が期待できる。電析多層ナノワイヤーの作製には、ナノチャンネル構造を有するテンプレートが不可欠であり、陽極酸化アルミナの逆電解剥離法を利用したエッジ狭窄型テンプレートが使用されてきた。しかしながら、細孔内のエッジ狭窄部において金属イオンが拡散律速となり、理想的な多層構造の再現が困難であった。本研究では、陽極酸化アルミナ膜を効率良く回収出来るアノード剥離法を適用し、金属イオンの拡散性を高めたスールーホール型テンプレートを開発した。その結果、数nmオーダーの積層構造を有するCo/Cu 系金属多層ナノワイヤー配列素子の電析に成功し、10%を超える高いCPP-GMR特性を実現出来た。